特許
J-GLOBAL ID：200903050226372388
ガラス基板マーキング機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304261
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136912
出願日： 1994年11月14日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルタの欠陥に対する欠陥マークを、ガラス基板の裏面の対応する位置に、速乾性の油性インクによりマーキングし、油性インクの乾燥を防止する。【構成】 マーキング機構7は、検査ステージ3の下部に着脱自由に設けられ、検出された欠陥のXY座標、または欠陥を有するカラーフィルタ2に対応したガラス基板1の裏面の位置に、速乾性の油性インクにより欠陥マークをマーキングするスタンプ部78と、待機中に油性インクの乾燥を防止し、マーキングの際、待避するカバー機構79とを具備する。
請求項（抜粋）：
複数枚のカラーフィルタが形成されたガラス基板を、検査装置の検査ステージに載置して、XY移動機構によりXまたは方向に移動し、検査光学系のレーザスポットにより該カラーフィルタの表面を走査して欠陥を検出し、該欠陥データとそのXY座標値を出力する検査装置において、前記検査ステージの下部に着脱自由に設けられ、前記検出された欠陥のXY座標、または該欠陥を有するカラーフィルタに対応した前記ガラス基板の裏面の位置に、速乾性の油性インクにより欠陥マークをマーキングするスタンプ面を有するスタンプ部と、待機中に該スタンプ面をカバーして該油性インクの乾燥を防止し、該マーキングの際、待避するキャップを有するカバー機構とにより構成されたことを特徴とする、ガラス基板のマーキング機構。
IPC (2件)：
G02F 1/1335 505
, H05K 1/03 610
