特許
J-GLOBAL ID：200903050226579373
有機系塗布ガラスの除去方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-319280
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190536
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【構成】 P-SiO膜3上に形成された有機系塗布ガラス4を、酸素プラズマを用いて灰化した後にHF系水溶液でエッチングする。【効果】 有機系塗布ガラスをその下層部分に影響なく除去できる。有機系塗布ガラスの塗布不良に対して、修正、再塗布を行うことができる。
請求項（抜粋）：
有機系塗布ガラスを、酸素プラズマを用いて灰化した後にHF系水溶液でエッチングすることを特徴とする有機系塗布ガラスの除去方法。
IPC (2件)：
H01L 21/316
, H01L 21/3205
