特許
J-GLOBAL ID：200903050227004382
処理液供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282773
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135100
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 各基板に均一な処理を施すことができるとともに、撮影手段の位置ずれを報知して不適切な処理が行われたことを知ることができる。【解決手段】 CCDカメラの撮影範囲100のうち、フォトレジスト液が吐出したことを検出する供給検出領域130と、CCDカメラの位置がずれたことを検出するずれ検出領域120を予め設定しておく。ずれ検出領域120には、基板Wの処理中に定位置にある先端部5bを含む。基板Wを処理する際に、予め撮影したずれ検出領域の画像と処理の際のその画像とを比較して、不一致であれば警報を発するとともに処理を停止する。処理は、供給検出領域130の画像に濃淡変化があった時点で、供給開始命令以後の命令を実行する。
請求項（抜粋）：
基板に対して処理液を供給して処理を施す処理液供給装置において、基板を回転可能に支持する回転支持手段と、前記回転支持手段に支持された基板の上方にあたる供給位置と前記回転支持手段に支持された基板の側方に離れた待機位置とにわたって移動可能に構成され、前記供給位置で前記基板に対して処理液を供給する処理液供給手段と、前記処理液供給手段から処理液が供給されたことを検知可能な範囲であって、かつ、基板を処理する際に定位置にある定位置部材を含む範囲を撮影する撮影手段と、前記処理液供給手段から処理液が供給された状態を正常に撮影可能な位置に前記撮影手段が取り付けられている状態で、基板の処理に先立って前記撮影手段が撮影した範囲の画像を表示する表示手段と、前記表示手段に表示された画像のうち、前記定位置部材を含む領域をずれ検出領域として予め設定する設定手段と、前記ずれ検出領域として設定された領域を基準位置画像情報として予め記憶する基準画像記憶手段と、基板の処理時に前記撮影手段によって撮影された範囲のうち前記ずれ検出領域に対応する領域を処理時画像情報とし、この処理時画像情報と前記基準位置画像情報とを比較して、前記撮影手段の取り付け位置がずれていることを判別する判別手段と、前記判別手段により前記撮影手段の取り付け位置がずれていると判断された場合にそのことを報知するための報知手段と、供給開始命令を含む複数個の命令からなり、予め記憶されている一連の処理を規定する処理プログラムに基づいて、前記回転支持手段に支持されている基板を回転させつつ供給開始命令を実行することにより前記処理液供給手段から前記基板に対して処理液を供給開始するとともに、前記撮影手段により所定の周期で撮影された範囲の画像情報の濃淡変化に基づき前記供給開始命令以後の命令を実行する制御手段と、を備えていることを特徴とする処理液供給装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05C 11/10
, H01L 21/02
H01L 21/30 564 C
, B05C 11/10
, H01L 21/02 Z
