特許

J-GLOBAL ID：200903050240565652

膜厚測定装置、及び膜厚測定方法

発明者： 鈴木 孝尚 ,  本田 早苗
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308737
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124524
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 様々な厚さの膜を測定しても、精度よく測定することができる膜厚測定装置、及び膜厚測定方法を提供すること。【解決手段】 試料1上に形成された膜2に光を照射して、その反射光情報D1を採取する反射光情報採取部3と、該反射光情報採取部3から採取された反射光情報D1に基いて膜厚を算出する膜厚演算部4とを備え、該膜厚演算部4における膜厚算出波長領域算出部4cにより、反射光情報D1の波長分解能、即ち分光光度計7の波長分解能、及び前記ピーク波長間距離算出部4bにて算出されたピーク波長間距離の関係から、膜厚算出波長領域を算出するため、様々な厚さの膜を測定しても、常に最適な膜厚算出波長領域が算出され、精度よく膜厚を測定することができる膜厚測定装置、及び膜厚測定方法である。

請求項（抜粋）：

膜が形成された試料の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、前記試料に光を照射させて得られる反射光情報に基いて干渉特性を検出し得る干渉特性検出手段と、前記干渉特性検出手段にて検出した干渉特性からピーク波長を求めて、ピーク波長間距離を算出し得るピーク波長間距離算出手段と前記干渉特性検出手段における反射光情報の波長分解能、及び前記ピーク波長間距離算出手段にて算出されたピーク波長間距離の関係から膜厚算出波長領域を算出し得る膜厚算出波長領域算出手段と、前記膜厚算出波長領域算出手段にて算出された膜厚算出波長領域におけるピーク波長間距離から膜厚を算出し得る膜厚算出手段とを備えることを特徴とする膜厚測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G03G 5/00 101

FI (2件)：

G01B 11/06 G ,  G03G 5/00 101

Fターム (15件)：

2F065AA30 ,  2F065CC31 ,  2F065FF01 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065LL02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP21 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2H068EA41 ,  2H068EA43