特許

J-GLOBAL ID：200903050245843928

片面研削装置および片面研削方法

発明者： 奥山 哲雄 ,  村井 史朗
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-142598
公開番号（公開出願番号）：特開2001-322056
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
要約：

【要約】【課題】 片面研削装置で仕上研削を行う際に、仕上研削後にウェーハに残る条痕の向きを揃えることによって、チップが割れやすくなるような条痕をチップに残さないようにする。【解決手段】 ウェーハWよりも大径のカップ型砥石からなる仕上砥石3を回転させてウェーハWの片面を仕上研削する。このとき、ウェーハWを回転させずに停止させておくとともに、仕上砥石3をウェーハWの被研削面に当接させながらウェーハWの被研削面に沿って直線移動させる。これにより、仕上砥石3によって研削されたウェーハWの被研削面における条痕を、仕上砥石3の移動する方向に膨らむ円弧形状となるように揃えることができる。

請求項（抜粋）：

カップ型砥石を回転させて被加工物の片面を研削する片面研削装置において、前記被加工物の片面を研削する際に、前記砥石および前記被加工物のうちの少なくとも一方を前記被加工物における被研削面に沿って直線方向に相対移動させる移動手段を有するとともに、前記被加工物の仕上研削に用いられる仕上砥石は、前記被加工物よりも大径のカップ型砥石であり、前記相対移動が行われている間、前記被加工物が回転方向に停止しているように構成されていることを特徴とする片面研削装置。

IPC (2件)：

B24B 7/04 ,  H01L 21/304 631

FI (2件)：

B24B 7/04 B ,  H01L 21/304 631

Fターム (4件)：

3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043CC04 ,  3C043DD06