特許
J-GLOBAL ID：200903050247007140
酸素ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158903
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005689
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 保守、耐環境性の考慮が必要なく、室温でも作動可能でセンサ素子の劣化を防止することのできる酸素ガスセンサの提供。【構成】 圧電基板1上に、励振用、受信用のすだれ状電極(以下IDTと呼ぶ。)2,4が設けられている。各IDT2,4は櫛歯状の電極2a,2b,4a,4bの組合せから構成されている。励振用IDT2の一方の電極2aは電気信号の入力を受けて圧電基板1に弾性表面波を発生させ、受信用IDT4の一方の電極4aは、弾性表面波を受信して電気信号に変換して出力する。さらに、励振用IDT2側のリード線6と受信用IDT4のリード線8との間が帰還増幅回路12を介して接続され発振回路を構成している。そして、両IDT2,4間の弾性表面波伝搬路には、酸素感応薄膜20が設けられている。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に弾性表面波励振用のすだれ状電極及び受信用のすだれ状電極を設けると共に、該両すだれ状電極間における前記弾性表面波の伝搬路に酸素感応薄膜を設けて発振回路を構成し、該酸素感応薄膜と反応する酸素量の変化を周波数変化量として出力することを特徴とする酸素ガスセンサ。
IPC (2件)：
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