特許
J-GLOBAL ID：200903050249868585
レーザ加工機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-106905
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296475
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】出力ビームのエネルギー利用効率が高く、装置が小型化でき、走査しても結像面が一定で、マスクの寿命が長いレーザ加工機を提供する。【解決手段】レーザ発振器からの出力ビーム1を集光用シリンドリカルレンズ2aで集光し、その焦点にマスクを配置する。このマスクの開口部の像を加工面6に結像させるのに、マスク位置を焦点とする対マスクレンズ51と加工面6を焦点とする対物レンズ52とを配置する。この配置により、結像位置は対物レンズ52の焦点となり、レンズ51とレンズ52との距離には関係しないので、この間に走査用の部材を配置しても正確に加工面6に結像する。また、集光用にシリンドリカルレンズ2aを採用することによって、ビームエキスパンダを用いないで、縦横比の大きいマスク開口パターンをエネルギー効率高く加工することができる。
請求項（抜粋）：
光学系に挿入したマスクでレーザ発振器からの出力レーザビームを所定の領域に限定し、結像レンズにより被加工物上に結像させて加工するレーザ加工機において、出力レーザビームを集光する集光レンズと、マスク側に位置する対マスクレンズ及び被加工物側に位置する対物レンズからなる結像レンズとを備え、マスクを集光レンズの焦点位置であると同時に対マスクレンズの焦点位置である位置に配置していることを特徴とするレーザ加工機。
FI (2件)：
B23K 26/06 J
, B23K 26/06 Z
