特許
J-GLOBAL ID：200903050259301486
無しゅう動真空ゲートバルブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176899
公開番号（公開出願番号）：特開平8-042715
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、無しゅう動真空ゲートバルブに関し、特に、水パーティクルの発生を極小とすることを目的とする。【構成】 本発明による無しゅう動真空ゲートバルブは、弁棒(9)及び弁体(8)の直動のみによって弁棒(9)の端部に設けられたカムフォロワ(10)がカム孔(6)と係合し、弁体の直動及び傾動を達成して無しゅう動の弁体の開閉弁を行うことができる。
請求項（抜粋）：
弁箱(1)の開口(1B)を、前記弁箱(1)にその一端が設けられたシールベローズ(13)を介して移動しかつ傾動する弁棒(9)に設けられた弁体(8)で開閉するようにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱(1)上に設けられた複数のシリンダ(2,3)の各ロッド端(2a,3a)に設けられたスイング体(4)と、前記スイング体(4)に設けられカム孔(6)を有するカム体(7)と、前記弁棒(9)の端部に設けられ前記カム孔(6)と係合するカムフォロワ(10)と、前記カム体(7)にスプリング(11)を介して接続され前記シールベローズ(13)の他端が接続されたスライド体(12)と、を備え、前記カム体(9)の直動により前記弁棒(1B)及び弁体(8)が直動及び傾動を行う構成としたことを特徴とする無しゅう動真空ゲートバルブ。
IPC (3件)：
F16K 3/18
, F16K 51/00
, F16K 51/02
