特許

J-GLOBAL ID：200903050261388203

試料自動回収システム

発明者： 内木 裕
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-065457
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270481
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】装置が停止してその復旧の後に確実に試料の有無を判断し、人の手作業による回収の手間を減らして自動的に試料を回収して無人化に貢献できること。【解決手段】装置の通常の動作中に搬送エラー等が発生して装置全体が停止し、その復旧後に、試料搬送部4と試料位置合わせ部5と試料検査部6とにおいてそれぞれ試料3を吸着動作を試み、各真空センサ12、13、14から出力される検出信号のオン(吸着可能)、オフ(吸着不可能)から試料搬送部4と試料位置合わせ部5と試料検査部6とにおけるそれぞれの試料3の有無を判断する。

請求項（抜粋）：

半導体デバイスを搬送部により吸着保持しながら各工程間に搬送する半導体製造装置において、この半導体製造装置が停止してからの復旧後に、前記搬送部や前記工程においてそれぞれ吸着動作を試みる手段と、これら吸着の可能又は不可能により前記搬送部や前記工程におけるそれぞれでの前記半導体デバイスの有無を判断する手段と、この有無判断において前記半導体デバイスが有ると判断された場合にその半導体デバイスを前記搬送部により自動回収する手段と、を具備したことを特徴とする試料自動回収システム。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/66 Z

Fターム (9件)：

4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106CA70 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ27 ,  4M106DJ32 ,  4M106DJ38