特許

J-GLOBAL ID：200903050276349069

外観検査装置と該装置のマスタデータ作成方法及び該マスタデータ作成プログラム

発明者： 郭 偉宏 ,  星野 満博 ,  嶋崎 真仁 ,  作左部 晃 ,  佐々木 学 ,  小坂 英則 ,  藤原 渉
出願人/特許権者： 株式会社秋田新電元
代理人 (1件)： 西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-227934
公開番号（公開出願番号）：特開2003-044835
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 被検査物の外観検査に必要な、被検査物の代表的な統計データが得られる1つのマスタデータを得て、良否判定を高精度に行え、歩留まりの向上が図れ、信頼性を向上できること。【解決手段】 被検査物のマスタデータを一様分布に従ってマップ上均一にノードを散布し(S1)、学習に必要なパラメータを設定し(S2)、サンプルデータの分布を作成し、学習するための実現値をランドム的に必要な学習回数分生成し、生成された実現値を用いてユークリット距離の競合により勝者ノードを決定し、勝者ノードの近傍で学習率、学習回数で学習させ(S3)、学習したマスタデータとサンプルデータとを所定の適合度(S4)によって評価し(S5)、予め決められた評価基準に適すれば作成を終了し(S6)、適しなければパラメータの学習率、近傍を所定の変化率で調整して(S7)再度学習を実行させる。

請求項（抜粋）：

被検査物の外観を示す画像データを画像処理して該被検査物の外観の良否を判定する外観検査装置に用いられ、該良否判定用のマスタデータをサンプルデータの学習に基づき作成するマスタデータ作成方法において、被検査物のマスタデータを一様分布に従ってマップ上均一にノードを散布して行う第1の工程と、前記学習に必要な学習率、近傍、学習回数、サンプルデータ数等のシステムパラメータを設定する第2の工程と、サンプルデータの分布を作成し、学習するための実現値をランドム的に必要な学習回数分生成する第3の工程と、生成された実現値を用いて、マスタデータの中でユークリット距離の競合により勝者ノードを決定する第4の工程と、勝者ノードの近傍範囲をもって、前記学習率、学習回数で学習させ、マスタデータを作成する第5の工程と、学習したマスタデータとサンプルデータとを所定の適合度によって評価し、予め決められた評価基準に適すれば作成を終了し、一方、適しなければ、前記システムパラメータのうち、学習率、近傍を所定の変化率で調整して前記第3の工程以降を再度実行し学習させる第6の工程と、を備えたことを特徴とする外観検査装置のマスタデータ作成方法。

IPC (3件)：

G06T 1/00 305 ,  G06T 1/00 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G06T 1/00 305 D ,  G06T 1/00 305 A ,  G01N 21/88 J

Fターム (26件)：

2G051AA73 ,  2G051AB11 ,  2G051AC21 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC10 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA30 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32