特許
J-GLOBAL ID：200903050282848115
投影レンズ倍率補正方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016457
公開番号（公開出願番号）：特開平5-210049
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 レチクル上のパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光するための投影レンズの倍率を環境が変化しても一定に保つこと。【構成】 投影レンズ1に対して2種類以上の屈折率の異なる例えば窒素ガスとヘリウムガスを投影レンズ1のレンズ間に供給して、圧力センサ19、温度センサ20および環境センサ21からの検出値を投影レンズ倍率補正制御器23に取り込み、計算した結果からバルブ16,17を制御して投影レンズ1内のガスの混合率および圧力を変えることにより、投影レンズ1の屈折率を変化させてその倍率を補正する。
請求項（抜粋）：
レチクル上のパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光するための投影レンズのレンズ間に屈折率の異なる2種類以上のガスを供給し、前記ガスの混合率を変えることにより投影レンズの屈折率を変化させてその倍率を補正する投影レンズ倍率補正方法。
IPC (6件)：
G02B 15/00
, G02B 3/12
, G03B 27/32
, G03B 27/34
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
