特許
J-GLOBAL ID：200903050283782231
微小可動構造体及び半導体装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-219637
公開番号（公開出願番号）：特開2005-224934
出願日： 2004年07月28日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：
【課題】 微細可動構造体の電極構造と基板との間の静電容量を低減することにより、電極間の静電容量の変動成分の割合を増大することのできる微細可動構造体を提供する。【解決手段】 本発明の微小可動構造体100は、基板上に形成された第1電極110と、前記第1電極に対向配置される第2電極123とを有し、前記第1電極と前記第2電極の少なくとも一つを可動に構成し、前記第1電極と前記第2電極との間に静電力を発生させることにより、前記第1電極と前記第2電極が相対的に移動するように構成された微小可動構造体において、前記第1電極の上方に前記第2電極が配置され、前記第1電極と前記第2電極は上下方向に対応する凹凸構造110a,123aを有し、前記第1電極と前記第2電極とが上下方向に相対的に移動することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された第1電極と、前記第1電極に対向配置される第2電極とを有し、前記第1電極と前記第2電極の少なくとも一つを可動に構成し、前記第1電極と前記第2電極との間に静電力を発生させることにより、前記第1電極と前記第2電極が相対的に移動するように構成された微小可動構造体において、
前記第1電極の上方に前記第2電極が配置され、
前記第1電極と前記第2電極は相互に上下方向に対応する凹凸構造を有し、
前記第1電極と前記第2電極は上下方向に相対的に移動することを特徴とする微小可動構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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