特許

J-GLOBAL ID：200903050286609077

加工不良判別機構を備えた加工用レーザー出射機構

発明者： 岡田 駿一
出願人/特許権者： ピーエスエル株式会社
代理人 (1件)： 細井 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294718
公開番号（公開出願番号）：特開平9-108866
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 加工不良をリアルタイムで判別できる加工不良判別機構を備えた加工用レーザ射出機構。【解決手段】 レーザー光Pの光路上に、レーザー光を反射し且つレーザー光により被加工物Wが加工される際に加工部Aから発生する加工光qを透過することのできる誘電体反射膜82が基体81に設けられたベンダーミラー8を配し、ベンダーミラーによって反射され進行するレーザー光の光路上に第1の集光体9を配し、加工光がベンダーミラーを透過した後の光路上に第2の集光体10を配し、この集光体の先に、特定の機能を有する光拡散体11を配し、この先に、加工部の中心点aからの加工光のうち、加工部へ入射するレーザー光の方向と正反対の方向に向う光の光軸α上の位置に第1の輝度センサー12を配し、光軸αとは垂直方向の距離にして所定間隔を隔てて少なくとも1つの第2の輝度センサーを配する。

請求項（抜粋）：

レーザー加工機において、発光部から発光されて進行するレーザーの光路上に、該レーザーを反射し且つ該レーザーによって被加工物が加工される際に加工部から発生する加工光を透過することのできる誘電体反射膜が設けられてなるベンダーミラーを配し、上記ベンダーミラーによって反射されて進行するレーザーの光路上に第1の集光体を配し、上記加工光が上記ベンダーミラーを透過した後の光路上に、第2の集光体を配し、該第2の集光体の先に、一特定角度の入射光のみを所定の一出射角度を有する出射光として透過させ、その他の入射光を内部で散乱させて異なる出射角度を有する複数の出射光として透過させる機能を有する光拡散体を配し、更に該光拡散体の先であって上記加工部の中心点からの加工光のうち、前記加工部へ入射するレーザーの方向とは正反対の方向に向かう光の光軸上の位置に第1の輝度センサーを配し、該第1の輝度センサーに対して、上記光軸とは垂直方向の距離にして所定間隔を隔てて少なくとも1つの第2の輝度センサーを配してなる構成を有することを特徴とする加工不良判別機構を備えた加工用レーザー出射機構。

IPC (5件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G01J 1/28 ,  G02B 7/188 ,  H01S 3/101

FI (6件)：

B23K 26/00 P ,  B23K 26/06 A ,  B23K 26/06 Z ,  G01J 1/28 ,  H01S 3/101 ,  G02B 7/18 702