特許
J-GLOBAL ID:200903050288123635
撮像装置及び方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-563888
公開番号(公開出願番号):特表2003-525446
出願日: 2001年02月28日
公開日(公表日): 2003年08月26日
要約:
【要約】試料を撮像するための装置及び方法であって、その装置は、25GHz乃至100THzの範囲の周波数を有する実質的に連続な電磁放射のビームで試料を照射するための源、画素の二次元配列に撮像されることになる試料のエリアを細分するための手段、各画素からの放射を検出するための手段を含み、ここで検出器は、試料を照射する放射に対して測定される、検出される放射の位相に依存する量を検出するように形成される。
請求項(抜粋):
試料を撮像する装置であって、 25GHz乃至100THzの範囲における周波数を有する実質的に連続な電磁放射のビームで試料を照射する源、 画素の二次元配列へ撮像されることになる前記試料のエリアを細分する手段、 各画素からの放射を検出する検出器、を含み、 前記検出器は、前記試料を照射する放射に対して測定される、前記検出される放射の位相に依存する量を検出するように形成される装置。
IPC (5件):
G01N 21/17 620
, G01B 11/06
, G01N 21/35
, G02F 1/37
, H01S 5/343
FI (5件):
G01N 21/17 620
, G01B 11/06 H
, G01N 21/35 Z
, G02F 1/37
, H01S 5/343
Fターム (57件):
2F065AA30
, 2F065BB22
, 2F065BB23
, 2F065DD04
, 2F065DD05
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065FF46
, 2F065FF49
, 2F065GG04
, 2F065JJ01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ18
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL12
, 2F065LL32
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ25
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059GG04
, 2G059GG06
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059KK03
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM08
, 2K002AA04
, 2K002AB12
, 2K002BA03
, 2K002HA19
, 5F073AA74
, 5F073AA89
, 5F073BA09
, 5F073EA29
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