特許
J-GLOBAL ID:200903050289168390
半導体レーザ装置およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梅田 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-070027
公開番号(公開出願番号):特開平9-289352
出願日: 1996年03月26日
公開日(公表日): 1997年11月04日
要約:
【要約】【課題】 素子抵抗および駆動電圧を低減した高い信頼性を有する半導体レーザ装置を提供する。【解決手段】 GaAlInN層を含むダブルヘテロ構造の半導体レーザ装置において、0.1μm以上1.0μm以下の膜厚のInNコンタクト層を具備する。
請求項(抜粋):
半導体基板上に、GaxAlyIn1-x-yN(0≦x≦1、0≦y≦1)層を含む半導体多層膜を形成して構成される半導体レーザ装置において、電極が形成されるべき層としてInNコンタクト層を具備してなることを特徴とする半導体レーザ装置。
IPC (4件):
H01S 3/18
, H01L 21/28 301
, H01L 21/28
, H01L 29/43
FI (4件):
H01S 3/18
, H01L 21/28 301 Z
, H01L 21/28 301 B
, H01L 29/46 Z
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