特許
J-GLOBAL ID：200903050289258089
電磁波干渉縞の不要光除去方法および電磁波干渉縞を用いた測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315363
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160045
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 第1発明の目的は、干渉縞よりcos縞成分を抽出する方法の提供にあり、第2発明の目的は、干渉縞より抽出されたcos縞成分を利用して、形状を正確に測定する方法の提供にある。【構成】 干渉縞を生じさせる一方の電磁波を被測定物2に当て、その光強度分布を第1光強度分布記憶手段9で記憶する。他方の電磁波を被測定物2に当て、その光強度分布を第2光強度分布記憶手段11で記憶する。干渉縞を被測定物2に当て、その光強度分布を第3光強度分布記憶手段10で記憶する。不要光除去手段12で、第1、第2、第3光強度分布記憶手段9、11、10の記憶する各光強度分布より、演算によって各画素毎におけるcos縞成分を抽出する。そして、測定手段13によって、得られたcos縞成分より、各画素毎における位置を算出し、各画素毎の位置より形状を測定する。
請求項（抜粋）：
(a)干渉縞を形成する2つの電磁波の一方の電磁波を被投射体に投射し、その被投射体に投射された光強度分布を撮影し、その光強度分布を記憶する第1光強度分布記憶手段と、(b)干渉縞を形成する2つの電磁波の他方の電磁波を前記被投射体に投射し、その被投射体に投射された光強度分布を撮影し、その光強度分布を記憶する第2光強度分布記憶手段と、(c)2つの電磁波の干渉によって生じる干渉縞を前記被投射体に投射し、その被投射体に投射された光強度分布を撮影し、その光強度分布を記憶する第3光強度分布記憶手段と、(d)この第3光強度分布記憶手段の記憶する光強度分布から、前記第1、第2光強度分布記憶手段の記憶するそれぞれの光強度分布を用いて、干渉縞よりcos縞成分を抽出する不要光除去手段とを備えた電磁波干渉縞の不要光除去方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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