特許
J-GLOBAL ID：200903050292625181
イオン照射装置の運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-089364
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258708
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 処理室の両側にエアロック室を備えるイオン照射装置において、処理終了時における試料の場所を確定することができる運転方法を提供する。【構成】 この運転方法は、試料2が処理室8を通過する走査回数を奇数回にしてその試料2に対する処理を終了することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
イオンビームを試料に照射して処理する処理室と、この処理室の両側に真空弁を介して隣接された二つのエアロック室とを備えていて、試料を一方のエアロック室から処理室を通して他方のエアロック室へと繰り返して走査するイオン照射装置において、試料が処理室を通過する走査回数を奇数回にしてその試料に対する処理を終了することを特徴とするイオン照射装置の運転方法。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, G21K 5/04
, H01L 21/265
