特許

J-GLOBAL ID：200903050300982789

電子線露光装置及びその電子線露光方法

発明者： 小島 義克
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191431
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008972
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】部分一括マスクを露光装置内に搭載した状態で従来法よりも高速かつ高精度な欠陥検査を行うことのできるようにする。【解決手段】部分一括マスク3を用いて電子線露光を行う電子線露光装置において、前記部分一括マスク3の設計情報から計算により求めた反射電子信号波形または電子ビーム走査により得られた反射電子信号波形と,電子線露光装置の実際の反射電子信号波形との間で相互相関演算を行う相互相関演算手段14と、この相互相関演算手段14により得られた相互相関関数のピーク値を判定する相関度判定手段15とを有し、部分一括マスクを装置内に搭載した状態で欠陥検査を行うようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

部分一括マスクを用いて電子線露光を行う電子線露光装置において、前記部分一括マスクの設計情報から計算により求めた反射電子信号波形または電子ビーム走査により得られた反射電子信号波形と前記電子線露光装置の実際の反射電子信号波形との間で相互相関演算を行う相互相関演算手段と、この相互相関演算手段により得られた相互相関関数のピーク値を判定する相関度判定手段とを有し、前記部分一括マスクを前記電子線露光装置内に搭載した状態で欠陥検査を行うようにしたことを特徴とする電子線露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/16 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305

FI (5件)：

G03F 1/16 F ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 Z ,  H01L 21/30 541 S

Fターム (13件)：

2H095BA08 ,  2H095BD04 ,  2H095BD14 ,  2H095BD28 ,  2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097GB00 ,  5C034BB05 ,  5F056AA06 ,  5F056AA22 ,  5F056AA40 ,  5F056BC10