特許

J-GLOBAL ID：200903050310101683

形状測定方法及び測定装置

発明者： 玄間 隆志 ,  市原 裕 ,  徳川 泰裕 ,  加藤 高昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179767
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002507
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 被測定面が複数の凸部又は凹部を有しているときに、各凸部又は凹部相互間の高さ又は深さの相対的な関係を求めることができる。【解決手段】 少なくとも2以上の凸部Tを有する被測定面UHの表面形状を干渉測定する方法において、所定の厚さを有し可撓性の形状測定用補助部材Gを前記少なくとも2以上の凸部にわたって載置する工程と、光源LSからの光束を分割し、一方の光束を参照面Rに照射し、他方の光束を前記形状測定用補助部材Gに照射する工程と、前記参照面Rからの反射光と、前記形状測定用補助部材Gからの反射光とを干渉させて干渉計測を行う工程と、前記干渉計測の結果に基づいて前記少なくとも2以上の凸部の高さの相対的関係を算出する工程とからなる

請求項（抜粋）：

少なくとも2以上の凸部を有する被測定面の表面形状を干渉測定する方法において、所定の厚さを有し可撓性の形状測定用補助部材を前記少なくとも2以上の凸部にわたって載置する工程と、光源からの光束を分割し、一方の光束を参照面に照射し、他方の光束を前記形状測定用補助部材に照射する工程と、前記参照面からの反射光と、前記形状測定用補助部材からの反射光とを干渉させて干渉計測を行う工程と、前記干渉計測の結果に基づいて前記少なくとも2以上の凸部の高さの相対的関係を算出する工程とからなることを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G

Fターム (23件)：

2F064AA09 ,  2F064EE05 ,  2F064FF02 ,  2F064GG11 ,  2F064GG22 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA47 ,  2F065BB26 ,  2F065CC17 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065PP11