特許
J-GLOBAL ID：200903050321152158
マスクパターンの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249762
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088357
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 LSIマスクパターンを可及的に高速に検査する。【構成】 ワークリストが少なくとも3種類のワークリスト、X軸平行線分用、Y軸平行線分用、斜め線分用のワークリスト5a,5b,5cに分割される。境界線分ファイル1から検査線分3が取り出され、この検査線分の傾きに基づいて検索対象ワークリストが決定され、この検索対象ワークリスト内の境界線分のデータの中で検査線分に近接するものが検査対象線分群9として選出されるとともに、検査対象領域から外れた境界線分のデータが削除線分のデータとしてワークリストから削除される。検査線分と検査対象線分群の各線分との距離を求め、この距離が所定値より小さいかどうかが検査される。
請求項（抜粋）：
境界線分のデータを記憶するワークリストを、少なくともX軸平行線分用、Y軸平行線分用、及び斜め線分用の3種類のワークリストに分割する第1のステップと、マスクパターンの閉図形に関する境界線分情報のレコードを所定の順序でソートして記憶している境界線分ファイルから、所定の規則に基づいてソート順に1レコード取り出し、この取り出したレコードの境界線分を検査線分とする第2のステップと、前記検査線分の傾きを求め、この傾きに基づいて前記分割され複数のワークリストから検索対象ワークリストを決定し、この決定された検索対象ワークリスト内の境界線分のデータの中で前記検査線分に近接する境界線分のデータを検索し、この検索された近接する境界線分のデータを検査対象線分群として選出し、前記検索対象ワークリスト内で検査対象領域から外れた境界線分のデータを削除線分のデータとして前記検索対ワークリストから削除する第3のステップと、前記検査線分と前記検査対象線分群の各線分との間の距離を求め、この求められた距離が所定値より小さいかどうかを検査する第4のステップと、前記検査線分のデータを、この検査線分の傾きに対応するワークリスト内に記憶させる第5のステップと、前記境界線分ファイルから取り出すべきレコードがなくなるまで前記第2から第5のステップを繰り返す第6のステップと、を備えていることを特徴とするマスクパターンの検査方法。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, G06F 15/62 405
, H01L 21/027
