特許

J-GLOBAL ID：200903050323928846

プローブ用導電性微粒子、その製造方法及び導電検査用プローブ

発明者： 小寺 嘉秋 ,  鵜飼 和男 ,  神吉 和彦
出願人/特許権者： 積水フアインケミカル株式会社
代理人 (1件)： 九十九 高秋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129186
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329059
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 厚膜の貴金属被覆層を有する耐久性に優れたプローブ用導電性微粒子を提供する。【解決手段】 平均粒子径が10〜1000μmの球状高分子粒子の表面に貴金属被覆層が形成されてなるプローブ用導電性微粒子であって、前記貴金属被覆層の厚みが、前記球状高分子粒子の半径の0.01〜0.4倍であるプローブ用導電性微粒子。

請求項（抜粋）：

平均粒子径が10〜1000μmの球状高分子粒子の表面に貴金属被覆層が形成されてなるプローブ用導電性微粒子であって、前記貴金属被覆層の厚みが、前記球状高分子粒子の半径の0.01〜0.4倍であることを特徴とするプローブ用導電性微粒子。

IPC (3件)：

H01B 1/00 ,  C25D 7/00 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

H01B 1/00 C ,  C25D 7/00 R ,  G01B 21/30 Z