特許

J-GLOBAL ID：200903050327048689

蒸発源及びこれを備えた蒸着装置

発明者： 安 宰 弘 ,  李 星 昊 ,  鄭 錫 憲 ,  趙 源 錫 ,  康 熙 哲
出願人/特許権者： 三星エスディアイ株式会社
代理人 (3件)： 八田 幹雄 ,  奈良 泰男 ,  宇谷 勝幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-339520
公開番号（公開出願番号）：特開2006-152440
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】反射板を使用することによってノズルの熱を効果的に高め、ノズルでの蒸着物質の凝縮を防止することができる蒸発源を提供する。【解決手段】蒸着物質が位置し、一部分が開口された蒸着物質貯蔵部と、前記蒸着物質貯蔵部の開口された部分に連結され、前記蒸着物質を噴射するための開口部を有するノズル部と、前記ノズル部の少なくとも一部の角部を取り囲む反射板と、前記蒸着物質貯蔵部を取り囲むハウジングと、前記ハウジングと前記蒸着物質貯蔵部との間に介在される加熱部と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸着物質が位置し、一部分が開口された蒸着物質貯蔵部と、 前記蒸着物質貯蔵部の開口された部分に連結され、前記蒸着物質を噴射するための開口部を有するノズル部と、 前記ノズル部の少なくとも一部の角部を取り囲む反射板と、 前記蒸着物質貯蔵部を取り囲むハウジングと、 前記ハウジングと前記蒸着物質貯蔵部との間に介在される加熱部と、を含むことを特徴とする蒸発源。

IPC (5件)：

C23C 14/24 ,  H01L 21/363 ,  H01L 21/285 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/40

FI (6件)：

C23C14/24 A ,  C23C14/24 B ,  H01L21/363 ,  H01L21/285 P ,  H01L29/28 100 ,  H01L29/28 310J

Fターム (16件)：

4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18 ,  4M104AA10 ,  4M104DD34 ,  5F103AA01 ,  5F103BB02 ,  5F103DD25 ,  5F103LL01 ,  5F103RR03 ,  5F103RR05 ,  5F103RR08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 大韓民国特許出願第2004-0098270号明細書
  
• 大韓民国特許出願第2005-0013298号明細書
  
• 大韓民国特許出願第2005-0014713号明細書
  
• 大韓民国特許出願第2005-0018833号明細書
  

審査官引用 (4件)

• 有機電界発光層の蒸着源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-228309   出願人：エルジーエレクトロニクスインコーポレーテッド
• 有機薄膜形成装置の加熱容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-311324   出願人：サムスンエヌイーシーモバイルデイスプレイ株式会社
• 有機化合物容器、有機蒸着源、及び真空蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-218170   出願人：日本真空技術株式会社
• 有機EL素子の製造装置および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-157489   出願人：ティーディーケイ株式会社