特許
J-GLOBAL ID:200903050336584216

光走査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐野 静夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-281919
公開番号(公開出願番号):特開平11-119137
出願日: 1997年10月15日
公開日(公表日): 1999年04月30日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、電気機械変換素子の微小な変位を大きく拡大振動し、ミラーによる光路長の変化がなく、ノイズがなく必要な振動のみを発生し、駆動周波数が一つつまり環境変化によって共振状態から少しずれても安定した振動状態を得ることができる光走査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光走査装置において、光ビームの方向を反射により変える反射ミラー1と、前記反射ミラーを支持しねじり振動することにより前記反射ミラーを回転振動させる弾性変形部材3と、前記弾性変形部材をねじり振動させる駆動源となる変位を前記弾性変形部材に与える電気機械変換素子10とを備えた構成とする。
請求項(抜粋):
光ビームの方向を反射により変える反射ミラーと、前記反射ミラーを支持しねじり振動することにより前記反射ミラーを回転振動させる弾性変形部材と、前記弾性変形部材をねじり振動させる駆動源となる変位を前記弾性変形部材に与える電気機械変換素子とを備えたことを特徴とする光走査装置。

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