フレームとペリクル板の貼り合せ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒井潤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-297018
公開番号（公開出願番号）：特開2005-070191
出願日： 2003年08月21日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】本発明は、転写パターンの位置ずれのないペリクルを作成するためのペリクルフレームとペリクル板の貼り合せ装置を考案するとともに、転写パターンの位置ずれの少ない高性能なペリクルを提供する。【解決手段】一定の厚さを有するフレーム1と、その一方の面に固定された合成石英ガラス製のペリクル板4からなるフレーム付きペリクルの製作に用いる貼り合せ装置であって、フレーム1を固定する支持部材とペリクル板4を固定する支持部材の間に、両支持部材の間隔及び平行度を一定にすることを目的としたスペーサー8、あるいはマイクロメーター9、精密ねじ、ピエゾ素子などで間隔及び平行度を調整する機構を設けたことを特徴とするフレーム1とペリクル板4の貼り合せ装置。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

一定の厚さを有するフレームと、その一方の面に固定された合成石英ガラス製のペリクル板からなるフレーム付きペリクルの製作に用いる貼り合せ装置であって、フレームを固定する支持部材とペリクル板を固定する支持部材の間に、両支持部材の間隔及び平行度を一定にすることを目的としたスペーサー、あるいはマイクロメーター、精密ねじ、ピエゾ素子などで間隔及び平行度を調整する機構を設けたことを特徴とするフレームとペリクル板の貼り合せ装置。

IPC (2件)：

G03F1/14 , H01L21/027

FI (3件)：

G03F1/14 J , G03F1/14 K , H01L21/30 502P

Fターム (3件)：

2H095BC31 , 2H095BC32 , 2H095BC36

引用特許：

出願人引用 (1件)

ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-126567 出願人：旭硝子株式会社

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