トンネル式クリーンルーム空調システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310599
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210679
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】境界領域に位置する作業員からの発塵を高速流域に巻き込むことを防止すると共に、トンネル式クリーンルーム内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応する。【解決手段】トンネル式クリーンルームと、このトンネル式クリーンルームを垂れ壁により区画して形成された高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域と、高速流域に設けられたファンフィルタユニットと、低速流域に設けられた短径方向に切断した断面ほぼ半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタユニットと、高速流域に設置された生産装置と、ファンフィルタユニット及びクリーンルーム用エアフィルタユニットを介してトンネル式クリーンルームに清浄空気を送る空調機と、気液相変化する冷媒が流通されるコイルと、このコイル内の冷媒を冷却又は加熱する熱交換器ユニットとを有し、コイルは、生産装置の位置するファンフィルタユニットに配置され、熱交換器ユニットは、トンネル式クリーンルームの外部に配置されているものである。

請求項（抜粋）：

トンネル式クリーンルームと、このトンネル式クリーンルームを垂れ壁により区画して形成された高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域と、高速流域に設けられたファンフィルタユニットと、低速流域に設けられた短径方向に切断した断面ほぼ半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタユニットと、高速流域に設置された生産装置と、ファンフィルタユニット及びクリーンルーム用エアフィルタユニットを介してトンネル式クリーンルームに清浄空気を送る空調機と、気液相変化する冷媒が流通されるコイルと、このコイル内の冷媒を冷却又は加熱する熱交換器ユニットとを有し、コイルは、生産装置の位置するファンフィルタユニットに配置され、熱交換器ユニットは、トンネル式クリーンルームの外部に配置されていることを特徴とするトンネル式クリーンルーム空調システム。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平4-214139
特開平4-214139
クリーンルーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-110847 出願人：日立プラント建設株式会社

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