平板状アルミナ粒子からなる粉末及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062140
公開番号（公開出願番号）：特開平7-315833
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】シリコンウェハーのラッピング等に好適な、従来になく粒子径分布の狭い均質な平板状アルミナを提供し、及びその製造に要する時間が極めて短く、収率が高い製造方法を提供する。【構成】個々の粒子が実質的に自形の平板状アルミナ粒子からなる粉末であって、粒子径は3〜20ミクロンで、実質的に凝集体と微粒子を含まず、平板状アルミナ粒子の破片の含有率は5%未満である平板状アルミナの粉末であり、好ましくはD50/D94の比が1.4未満で、D3 /D50の比が1.6未満であり、少なくとも90%の粒子が6〜12ミクロンの径を有する。製造方法として、約10〜約30重量%の凝集体を含む平板状アルミナ粉末を提供し、荒い画分と6ミクロン未満の粒子を含む微細な画分に分級し、荒い画分を、粉末の粒子サイズが約6〜約12のD50に達するまで湿式で微粉砕し、微粉末を分離・除去する。

請求項（抜粋）：

個々の粒子が実質的に自形の平板状アルミナ粒子からなる粉末であって、粒子径は3〜20ミクロンで、実質的に凝集体と微粒子(fines) を含まず、平板状アルミナ粒子の破片の含有率は5%未満である平板状アルミナの粉末。

IPC (2件)：

C01F 7/02 , H01L 21/304 321

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭60-038486
特開昭58-181725
特公昭58-019640

全件表示

前のページに戻る