導波路にブラッググレーティングを書き込む方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村元彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-542922
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514168
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

ブラッググレーティングを導波路に書き込む方法であって、1つの軸に沿って実質的に伸張するように書き込み位置に導波路を設ける工程と、UV放射ビームを生成する工程と、ビームにより導波路に沿ってフェイズマスクを通して第1及び第2走査を実施して所定の態様にて導波路に沿った屈折率変化を可能にする干渉縞を生成する工程と、第1及び第2走査のいずれか1つの間中、平衡位置の内の1つのまわりにおいてかつ導波路軸に対して90°未満の角度での動作方向に沿った振動動作によりフェイズマスクを移動する工程と、からなることを特徴とする方法であって、この走査によって実質的に屈折率のエンベロープがゼロとなるように製作し、走査速度の制御等により第1及び第2走査の間においては導波路に沿って制御された方法により紫外線放射エネルギ強度を変化させるものである。

請求項（抜粋）：

ブラッググレーティングを導波路に書き込む方法であって、 1つの軸に沿って実質的に伸張するように書き込み位置に感光性導波路を設ける工程と、 UV放射のビームを生成する工程と、前記ビームにより前記感光性導波路に沿ってフェイズマスクを通して第1及び第2走査を実施して所定の態様にて前記導波路に沿った屈折率変化を可能にする干渉縞を生成する工程と、前記第1及び第2走査のいずれか1つの間中、平衡位置の内の1つのまわりにおいてかつ前記軸に対して90°未満の角度での動作方向に沿った振動動作により前記フェイズマスクを移動する工程と、からなることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G02B6/10 , G02B5/18 , G02B6/13 , G02B6/16

FI (4件)：

G02B6/10 C , G02B5/18 , G02B6/16 , G02B6/12 M

Fターム (10件)：

2H047KA03 , 2H047LA03 , 2H047PA30 , 2H047QA04 , 2H049AA34 , 2H049AA59 , 2H049AA62 , 2H049AA66 , 2H050AB05X , 2H050AC84

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