特許
J-GLOBAL ID：200903050343653096
バンプ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021881
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221014
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、バンプ検査工程において良好な撮像状態が得られる照明方法を提供し、良好な画像処理を可能にすることで、特にバンプの有無に関する判定を確実にできるバンプ検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 この課題を解決するために、本発明のバンプ検査装置では、接続部の照明手段を撮像装置の光軸に平行な同軸照明と斜方光であるリング照明とを併用する。その時、同軸照明は白色光、リング照明は金バンプに対して略補色関係にある青色光(波長400〜500nm)とする。同じ角度で入射した青色光に対し、アルミパッドでは反射率が大きく、金バンプでは反射率が小さいため、金バンプの有無によってパターンの異なる2値画像が得られる。これにより、金バンプの有無の判定が容易になり、かつ高精度でバンプ形状を計測することのできるバンプ検査装置が得られる。
請求項（抜粋）：
半導体表面、または回路基板表面に形成された平面電極と前記平面電極の表面に形成された突起状バンプとよりなる接続部と、前記接続部を撮像する光-電気信号変換器と、前記接続部を照明する第一の照明手段と、前記接続部を照明する第二の照明手段と、前記光-電気信号変換器からの画像情報を処理する画像処理手段とよりなり、同じ入射角で入射した前記第一の照明手段による照明光の反射率が、前記平面電極からの前記反射率の方が前記バンプからの前記反射率よりも大きいことを特徴とするバンプ検査装置。
Fターム (20件)：
2F065AA03
, 2F065AA17
, 2F065AA26
, 2F065AA56
, 2F065AA58
, 2F065CC17
, 2F065CC26
, 2F065DD00
, 2F065FF04
, 2F065GG17
, 2F065GG22
, 2F065GG24
, 2F065HH03
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ05
, 2F065QQ31
, 2F065TT03
