特許
J-GLOBAL ID：200903050347689397
導波路型光デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 雄太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-088965
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289035
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 導波路型光デバイスの製造工程において、光の入出射端の鏡面研磨を一度に多数行い、基板表面に形成された制御用電極等を傷つけることのない工法を提案する。【構成】 複数枚ウェハ2をたばねて光の入出射端に相当する部分を鏡面研磨し、この鏡面研磨工程の後に光導波路3及び制御用電極4の製作工程が続く。
請求項（抜粋）：
インゴットの入出射端を所定の長さになるように切断し、該切断した入出射端を研磨して鏡面に仕上げた後にスライスしてウェハを形成し、次いで入出射端を鏡面研磨した前記ウェハに光導波路、制御用電極を形成し、次に光導波路等が形成された前記ウェハを所定の大きさに切断して光デバイスを形成することを特徴とした導波路型光デバイスの製造方法。
IPC (2件)：
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