研磨方法及び研磨装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068605
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263418
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】研磨性能の変動を抑えつつ、被加工物の製造効率を高める。【解決手段】研磨パッド11によるウェハ16の研磨中、ドレス砥石21で研磨パッド11のドレッシングを行う。この際、制御演算部31は、回転力計24で測定されたドレス駆動力と、記憶部32に記憶されている研磨能率-ドレス駆動力関数を用いて、現時点での研磨能率を求め、この研磨能率が予め定めた範囲内であるか否かを判断する。求めた研磨能率が範囲外である場合には、ドレッシング装置20に指示を与え、ドレス圧を変更して、ドレス能率を一定の範囲内に抑えると共に、研磨能率を一定の範囲内に抑える。

請求項（抜粋）：

被加工物に対して研磨工具を相対移動させて、該被加工物を研磨する研磨方法において、ドレス工具を用いて研磨工具をドレッシングし、ドレッシング中の前記ドレス工具と前記研磨工具との抵抗を測定し、前記抵抗が予め定められた値の範囲内に収まるようドレス条件を変える、ことを特徴とする研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 A , H01L 21/304 622 M

Fターム (12件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA19 , 3C058AC04 , 3C058BA06 , 3C058BA09 , 3C058BB02 , 3C058BB08 , 3C058BB09 , 3C058BC02 , 3C058CB03 , 3C058DA17

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