特許

J-GLOBAL ID：200903050359071275

検査装置

発明者： 斎藤 憲敬 ,  戸田 正利 ,  田代 慎太郎 ,  門沢 文夫
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-175639
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018429
出願日： 1992年07月02日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：

【要約】【構成】 照明の巾方向に適当な指向性を有し、相対的に走行する検査対象3を照明するライン状ライトガイド1と、検査対象3からの反射光を撮像し、ライン状照明装置1の幅方向中心からの最も強い光出射方向に対する鏡面での正反射方向より一定角度の回転或いは正反射方向に対してほぼ垂直に移動した位置に配置されたラインCCDカメラ2と、ライン状照明装置1と検査対象3の間に挿入された、一次元ラインカメラのレンズにライン状照明装置からの正反射光を入射させない遮光部材4とを備えている。【効果】 正反射光のレンズ表面での反射及び検査対象内で多重反射等による影響が少く、傷等での散乱光のみを検出することできる。

請求項（抜粋）：

表面が鏡面である不透明体、或いは一定の厚みを持つ透明体であって表面或いは表裏両面が鏡面である検査対象の欠陥を検査する装置において、照明の巾方向に適当な指向性を有し、相対的に走行する検査対象を照明するライン状照明装置と、検査対象からの反射光を撮像し、ライン状照明装置の幅方向中心からの最も強い光出射方向に対する鏡面での正反射方向より一定角度の回転或いは正反射方向に対してほぼ垂直に移動した位置に配置された一次元ラインカメラと該ライン状照明装置と検査対象の間に適当な角度で挿入された、該一次元ラインカメラのレンズにライン状照明装置からの正反射光を入射させない遮光部材とを備えたことを特徴とする検査装置。