特許

J-GLOBAL ID：200903050367419329

光ビーム走査装置

発明者： 小川 一三 ,  寺田 浩敏 ,  市江 更治
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333595
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164980
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 低速用及び高速用の各スキャナーの利点を生かし、観察画像の画質を重視した低速モードと、走査スピードを重視した高速モードとの双方を兼ね備えた光ビーム走査装置を提供することにある。【構成】 光ビーム走査装置は、x方向を走査する高速スキャナ11と、同一のx方向を走査する低速スキャナ12と、y方向を走査する低速スキャナ13とを同一の光路中に配設して構成し、低速モードの場合には、高速スキャナ11を一定の振れ角に固定し、低速スキャナ12、13で2次元走査を行う。また、高速モードの場合には、低速スキャナ12を一定の振れ角に固定し、高速スキャナ11と低速スキャナ13とで2次元走査を行う。

請求項（抜粋）：

x方向を走査する第1の走査手段と、このx方向に対して直交するy方向を走査する第2の走査手段とを同一の光路中に配設し、この光路を伝播する光ビームを2次元的に走査する光ビーム走査装置において、前記光ビーム走査装置は、さらに、前記第1の走査手段又は第2の走査手段のいずれか一方の走査手段と同一方向に走査し、かつ、前記各走査手段に比べて高速に走査する第3の走査手段を、前記光路中に備えることを特徴とする光ビーム走査装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-039018
  
• 特開平2-039018
  
• 特開平2-124513