特許
J-GLOBAL ID:200903050374228695

表面電位測定方法およびその測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-246652
公開番号(公開出願番号):特開平7-104019
出願日: 1993年10月01日
公開日(公表日): 1995年04月21日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、被測定体の表面電位を非接触に設けられた測定電極により測定する表面電位測定方法およびその測定装置に関し、被測定体および測定電極の間の静電容量を変化させ測定電極の電位から出力値の異なる2つ以上の出力信号を検知することにより、その出力信号から測定距離を求めて表面電位を導出するようにして、正確な表面電位を簡易に測定することを目的とする。【構成】 電気的に独立した測定電極33を被測定体12から異なる距離の位置L1、L2 の間を変動させるとともにチョッパ電極14を開閉するよう振動させて被測定体12と測定電極33との間の静電容量C0 を変化させ、被測定体12の表面電位Vs に対応して誘起され静電容量C0 の変化に伴い変化する測定電極33の電位を検出し、その検出信号から少なくとも出力値の異なる2つ以上の出力信号V1 、V2 を検知して出力信号V1 、V2 から被測定体12の表面電位Vs を導き出す。
請求項(抜粋):
被測定体から所定間隔を隔てた位置に配設され該被測定体と電気的に独立した測定電極により被測定体の表面電位を測定する表面電位測定方法であって、前記被測定体と測定電極との間の静電容量を変化させ、被測定体の表面電位に対応して誘起され該静電容量の変化に伴い変化する測定電極の電位を検出し、該検出信号から少なくとも出力値の異なる2つ以上の出力信号を検知して該出力信号から被測定体の表面電位を導き出すことを特徴とする表面電位測定方法。
IPC (2件):
G01R 29/12 ,  G01R 29/24
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭62-110167
  • 特開昭62-110167

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