特許
J-GLOBAL ID：200903050374911255
回転自在の要素のアレイを作る方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-318799
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287177
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 理想的なDMDが有する輝度の一様性等に近付ける。【構成】 改良された隠れヒンジ・ディジタル・マイクロミラー装置及びその製法を説明した。装置は、ヨーク428に取付けられたヒンジ424を持ち、このヨークが装置のミラー430の回転を制限する。一実施例では、ミラー430が、着地ヒンジ・ヨーク428によって2つのねじれヒンジ424に取付けられた中心支持柱416によって支持されている。ねじれヒンジ424の両端が2つの支持柱426に取付けられ、これらの柱が、ヒンジ424を基板400の上方に保持すると共に、ヒンジ424をねじれ形式で捩ることができる様にする。2つの犠牲スペーサ層404,414を使うことによって、装置が製造されるが、これらのスペーサ層を取去って、ミラー430が回転できる様にする。
請求項（抜粋）：
各々の当該要素が少なくとも2つの状態に個別に回転し得る様な回転自在の要素のアレイを作る方法に於て、前記アレイ内の全ての要素を支持する基板を設け、少なくとも2つの丁番及び少なくとも1つの丁番ヨークで構成されていて、該丁番が前記基板及び前記丁番ヨークを接続しており、該丁番ヨークが前記要素に接続されている様な支持構造を前記基板及び前記要素の間に構成し、前記要素を前記基板及び前記丁番ヨークの平面とは別個の平面内に維持する工程を含み、前記要素が回転する時、前記丁番ヨークが該要素と共に回転して、前記基板に接触することによって前記要素の回転を制限する様にした方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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