特許

J-GLOBAL ID：200903050375841374

ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法

発明者： 川上 義男 ,  鵜澤 昭彦
出願人/特許権者： 光研工業株式会社 ,  株式会社ユーティーケー・システム
代理人 (1件)： 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198229
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033886
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】 ガラスディスクの内周面加工を効率よく、また低い設備コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まりも向上させる。【解決手段】 ドーナツ状に中心孔31を有するガラスディスク3aの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置1において、ガラスディスク3aを積層してセッティング可能でかつその積層ガラスディスク3を中心軸回りに回転可能とするワークセッティング部2と、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ7と、軸付研磨ブラシ7をその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部60と、軸付研磨ブラシ7を積層ガラスディスク3の中心孔31に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨ませるとともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動駆動部80と、を有する、ことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

ドーナツ状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置において、上記ガラスディスクを積層してセッティング可能でかつその積層ガラスディスクを中心軸回りに回転可能とするワークセッティング部と、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、上記軸付研磨ブラシをその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部と、上記軸付研磨ブラシを上記積層ガラスディスクの中心孔に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨ませるとともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動駆動部と、を有し、上記ワークセッティング部で積層ガラスディスクを回転させるとともに、上記軸付研磨ブラシを往復動させつつ上記積層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転させ、その軸付研磨ブラシで積層ガラスディスクの内周面を研磨するようにした、ことを特徴とするガラスディスク内周研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 5/06 ,  B24B 9/00 601 ,  B24B 29/00

FI (3件)：

B24B 5/06 ,  B24B 9/00 601 J ,  B24B 29/00 F