特許
J-GLOBAL ID：200903050376462750
スパッタリング用電源装置および該装置を用いたスパッタリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035898
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298754
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 放電開始圧力以下で安定したスパッタリングを実現することにより、スパッタ用不活性ガスとの衝突によるスパッタ粒子の散乱を少なくすることにより、ステップカバレ-ジを改善し、スパッタ膜の緻密性を改善することができるスパッタリング用電源装置を提供すること。【解決手段】 スパッタリング用直流電源Aと、この直流電源に接続される定電流回路Bと、この定電流回路Bに接続されるスパッタ源21と、上記定電流回路から出力される電流を定電流となるように制御する制御部11とを備えたことを特徴とするスパッタリング用電源装置である。
請求項（抜粋）：
スパッタリング用直流電源と、この直流電源に接続された定電流回路と、この定電流回路に接続されたスパッタ源と、上記定電流回路から出力される電流を定電流となるように制御する制御部とを備えたことを特徴とするスパッタリング用電源装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/34 T
, C23C 14/34 U
, H01L 21/203 S
