特許
J-GLOBAL ID：200903050380458210
薄膜剥離方法および薄膜剥離装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-126913
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338496
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 スパッタ装置の防着板に付着した薄膜を短時間で剥離させ、防着板の予備数(待機保管数)を低減させる。【構成】 薄膜(スパッタ膜)が付着した防着板1を真空ベーク炉16に入れて数百度に加熱した後、真空ベーク炉16から防着板1を取り出し、防着板1が冷めないうちに冷凍庫26に入れて急冷する。防着板1はステンレスからなり、スパッタ膜はたとえばTiとなり、両者は熱膨張係数が異なるため、前記加熱急冷処理によって、スパッタ膜は大きな熱ストレスが発生し、スパッタ膜は防着板1の表面から容易に脱落する。薄膜剥離時間の短縮が図れることから、防着板1の待機保管数を低減することができる。
請求項（抜粋）：
物品の表面に付着した薄膜を剥離する薄膜剥離方法であって、前記物品を加熱した後、温度が高い状態で急激に冷却することによって薄膜を剥離させることを特徴とする薄膜剥離方法。
IPC (3件)：
H01L 21/316
, C23C 14/58
, H01L 21/203
