特許
J-GLOBAL ID：200903050380874230
限界寸法測定装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216049
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231863
出願日： 1992年08月13日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 サンプルにおけるトレンチの深さ及び幅を測定する、走査型力マイクロプローブと光学顕微鏡測定システムの組合せを提供する。【構成】 サンプル12がプローブ14に対して相対的に移動しているとき、プローブは固定したままになる。このシステムは、プローブのサンプルに対する近接度、及びプローブのトレンチの側壁に対する近接度を検出し、プローブとサンプルの垂直及び水平関係を示す出力信号を提供する。このシステムは、サンプルの相対位置を、出力信号の関数として垂直に及び水平に調整する。このシステムではトレンチの深さ及び幅を検出するために各種のプローブを使用することができる。プローブは、トレンチの底面を感知するために下に延びる少なくとも1つの突起をもつ。プローブのティップは、トレンチの側壁を検出するためにプローブから反射方向に(トレンチの幅を横切って)延びる側面突起をもつことができる。これらの突起にかかる力を測定して、トレンチの側壁の深さ及び位置を決定する。
請求項（抜粋）：
サンプルにおける限界寸法を測定するための測定装置において、a)少なくとも1つのティップを有するプローブと、b)前記プローブの前記サンプルに対する近接度を検出するための白色光を送る少なくとも1つの白色光源と、c)前記プローブの前記サンプルに対する近接度を検出するための光ビームを送る少なくとも1つのビーム操向手段と、d)前記白色光及び前記光ビームが共線的に前記プローブに達することを保証するための少なくとも1つの手段と、e)前記プローブの前記サンプルに対する位置関係を示す少なくとも1つの出力信号とを含み、f)サンプルの表面で前記プローブの少なくとも一部分を振動させ、前記の少なくとも1つの出力信号を得、それによって前記サンプルの前記限界寸法を得ることを特徴とする、測定装置。
IPC (4件)：
G01B 21/30
, G01B 11/00
, G01M 11/00
, G01B 7/34
