特許

J-GLOBAL ID：200903050390316634

液体噴射記録ヘッドの製造方法

発明者： 宮川 昌士 ,  稲田 源次 ,  大熊 典夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-145590
公開番号（公開出願番号）：特開平5-338181
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】 液流路を精度よく正確に、かつ歩留り良く微細加工することのできる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】 液体噴射記録ヘッドの製造方法は、記録液滴を吐出する吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、感光性樹脂層を形成し、感光性樹脂層のインク路のパターン露光を行う工程と、感光性樹脂層上に天板を積層する工程と、感光性樹脂層のパターン露光された部分を溶出する工程とを含む。

請求項（抜粋）：

記録液滴を吐出する吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、1)感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層のインク路のパターン露光を行う工程と、2)前記感光性樹脂層上に天板を積層する工程と、3)前記感光性樹脂層のパターン露光された部分を溶出する工程とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。