特許

J-GLOBAL ID：200903050393681139

感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者： 野口 有一
出願人/特許権者： 東芝ケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025142
公開番号（公開出願番号）：特開2001-215695
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液にて現像が可能なポジ型パターン形成能を有するポリイミド前駆体とこのポリイミド前駆体を安定して製造する方法を提供する。【解決手段】 (A)次式で示されるポリイミド前躯体、(但し、式中、R1 は、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物残基などの4価の有機基、R2 は、ジアミノジフェニルエーテル残基などの2価の有機基、R3 、R4 はジアゾナフトキノン環もしくはフェノール性OH基をもつ芳香族環を有するアルコール性化合物であり、nは1以上の整数である)(B)上記ポリイミド前躯体を合成するにあたり用いるジフェニル(2,3-ジヒドロ-2-チオキソ-3-ベンゾオキサゾール)ホスホナートなどの脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感度を向上させるジアゾナフトキノン化合物などの感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

(A)次の一般式で示されるポリイミド前躯体、【化1】(但し、式中、R1 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -若しくは-CH2-で結合された4価の有機基であり、R2 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -若しくは-CH2 -で結合された2価の有機基であり、R3 、R4 はジアゾナフトキノン環もしくはフェノール性OH基をもつ芳香族環を有する有機基であり、nは1以上の整数である)(B)上記の(A)ポリイミド前躯体を合成するにあたり用いる脱水縮合剤、(C)活性光線に対する感度を向上させる感光剤および(D)溶剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/023 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/41 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/023 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/41 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (96件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BE02 ,  2H025BJ10 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CM041 ,  4J002EV216 ,  4J002FD146 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J043PA01 ,  4J043PC015 ,  4J043PC065 ,  4J043QB21 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA47 ,  4J043SA61 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA31 ,  4J043TA32 ,  4J043TA51 ,  4J043TA71 ,  4J043TA74 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA231 ,  4J043UA232 ,  4J043UA251 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB051 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB241 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043XA13 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043XB11 ,  4J043XB20 ,  4J043YA02 ,  4J043YA06 ,  4J043YB07 ,  4J043YB08 ,  4J043YB22 ,  4J043YB31 ,  4J043YB44 ,  4J043ZA06 ,  4J043ZA11 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA43 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22