【要約】【課題】シリコン、カーボンの還元剤を用いずに、容易かつ安価に高純度の低級酸化ケイ素粉末を製造する。【解決手段】SiO
2を主成分とし、シリコンとカーボンを実質的に含まないシリカ質原料を、通電式加熱炉からなる反応室で加熱してSiO含有ガスを発生させ、それを好ましくは1000°C/秒以上の冷却速度かつ0.2m/秒以上の流速で冷却し、生成した粉末を捕集することを特徴とするSiO
x(1.0
請求項(抜粋):
SiO
2を主成分とし、シリコンとカーボンを実質的に含まないシリカ質原料を、通電式加熱炉からなる反応室で加熱してSiO含有ガスを発生させ、それを冷却し、生成した粉末を捕集することを特徴とするSiO
x(1.0
Fターム (9件):
4G072AA24
, 4G072BB05
, 4G072GG03
, 4G072HH14
, 4G072HH36
, 4G072MM01
, 4G072RR11
, 4G072RR21
, 4G072UU30
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