特許
J-GLOBAL ID：200903050410171972
XYステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-001932
公開番号（公開出願番号）：特開平8-190431
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】ステージを駆動する直線駆動源に対する負荷を低減することにより高い周波数応答性を得ることが可能なXYステージを提供する。【構成】基台15上にX方向に進退自在なサブステージ18を設け、このサブステージ上に、このサブステージの進退方向と同一平面で直交するY方向に進退自在なメインステージ22を設け、これらサブステージ及びメインステージを進退移動させる一対の直線駆動源によりメインステージをX方向及びY方向に移動させて任意の位置に位置決めするXYステージである。そして、メインステージ22を少なくともY方向に進退移動させる直線駆動源は、メインステージの進退方向に沿う側部に配設された固定子25と、メインステージの側部に固定されて推力の発生により固定子に沿ってY方向に移動し、且つX方向にも移動自在とされた可動子27とを備えたリニアモータ24で構成されている。
請求項（抜粋）：
基台上にX方向に進退自在なサブステージを設け、このサブステージ上に、当該サブステージの進退方向と同一平面で直交するY方向に進退自在なメインステージを設け、これらサブステージ及びメインステージを進退移動させる一対の直線駆動源により前記メインステージをX方向及びY方向に移動させて任意の位置に位置決めするXYステージにおいて、前記メインステージを少なくともY方向に進退移動させる直線駆動源を、前記メインステージの進退方向に沿う側部に配設された固定子と、前記メインステージに固定されて推力の発生により前記固定子に沿って前記Y方向に移動し、且つ前記X方向にも移動自在とされた可動子とを備えてなるリニアモータで構成したことを特徴とするXYステージ。
IPC (2件)：
引用特許：
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