特許

J-GLOBAL ID：200903050421100627

ビスマレイミド化合物及び感光性樹脂組成物

発明者： 大場 正幸 ,  真竹 茂
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229791
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073003
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【構成】 下記一般式(1)及び(2)のいずれかにて示されるビスマレイミド化合物をポリイミド、ポリアミド酸及び感光剤と配合する。【化1】(式中、Xは単結合又は2価の有機基を表す。)【効果】 基体との密着性に優れたポリイミド膜パタ-ンを、アルカリ現像による簡単なプロセスで解像度高く形成することが可能な感光性樹脂組成物を得ることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)及び(2)のいずれかにて示されることを特徴とするビスマレイミド化合物。【化1】(式中、Xは単結合又は2価の有機基を表す。)

IPC (6件)：

C07D207/452 ,  C08K 5/28 ,  C08K 5/3415 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/037 501