特許

J-GLOBAL ID：200903050425748435

金属球の搭載装置および搭載方法

発明者： 雨海 真也
出願人/特許権者： 上野精機株式会社
代理人 (1件)： 池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-285586
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093843
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】 吸着ヘッドによる金属球の吸着効率を高めることのできる金属球の搭載装置および搭載方法を提供する。【解決手段】 通風性の仕切板11の下のガス吹き上げ空間15には、傾斜して並置された複数の整流板17が配設されており、このガス吹き上げ空間15は、ガス入口19を介してガス供給源(図示せず)に連結されている。吸着ヘッド1が金属球3を吸着する際、ガス入口9からガス吹き上げ空間15に流入したガスは、整流板17によって斜め上方に向けて流れるガス流となって金属球3に吹付けられ、金属球3は斜め上方に浮遊させられる。

請求項（抜粋）：

通風性の仕切壁によって上下に区画され、仕切壁の上の金属球貯留空間の中に金属球を貯留する金属球貯留容器と、該金属球貯留容器内に貯留された金属球を真空吸着するための複数の吸着孔を下面に備えた吸着ヘッドとを有する金属球の搭載装置であって、前記金属球貯留容器の仕切壁の下に形成され、ガス供給源に連結されたガス吹き上げ空間に、互いに並置された複数の整流板が傾斜して設けられ、該整流板によって、前記ガス吹き上げ空間内のガスが斜め上方に差し向けられることを特徴とする金属球の搭載装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ,  H05K 3/34 505

FI (2件)：

H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (6件)：

5E319AC01 ,  5E319AC16 ,  5E319BB04 ,  5E319CD04 ,  5E319CD26 ,  5E319GG15