特許
J-GLOBAL ID:200903050426828629

焼成用セッター及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田辺 徹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-093235
公開番号(公開出願番号):特開平8-259337
出願日: 1995年03月28日
公開日(公表日): 1996年10月08日
要約:
【要約】【目的】 耐スポーリング性に優れた焼成用セッター及びその製造方法を提供する。【構成】 化学組成がAl2 O3 30〜70重量%及びZrO2 70〜30重量%からなり、主鉱物相がコランダムと単斜晶型ジルコニアからなり、粒度が0.1〜1mmである溶融原料3〜15重量%と、アルミナ原料85〜97重量%とを混練し、これを成型、焼成することによって、全体的化学組成がAl2 O3 90〜98重量%、ZrO2 2〜10重量%及び他成分1重量%以下の高アルミナ質耐火物からなる焼成用セッターを製造することを特徴とする焼成用セッターの製造方法。前記製造方法によって製造した焼成用セッター。
請求項(抜粋):
化学組成がAl2 O3 30〜70重量%及びZrO2 70〜30重量%からなり、主鉱物相がコランダムと単斜晶型ジルコニアからなり、粒度が0.1〜1mmである溶融原料3〜15重量%と、アルミナ原料85〜97重量%とを混練し、これを成型、焼成することによって、全体的化学組成がAl2 O3 90〜98重量%、ZrO2 2〜10重量%及び他成分1重量%以下の高アルミナ質耐火物からなる焼成用セッターを製造することを特徴とする焼成用セッターの製造方法。
IPC (3件):
C04B 35/64 ,  C04B 35/101 ,  F27D 3/12
FI (3件):
C04B 35/64 H ,  F27D 3/12 S ,  C04B 35/10 F
引用特許:
審査官引用 (11件)
  • 特開平1-203262
  • 特開平1-203263
  • 特開平3-103353
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