特許

J-GLOBAL ID：200903050431049107

分析電子顕微鏡における予備排気方法及び予備排気室

発明者： 富田 健
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400037
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203505
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】分析電子顕微鏡において、電子線照射時の試料汚染を防止する。【解決手段】予備排気室1にドライ窒素ガスを導入する手段(ガスボンベ13、流量調整弁8、電磁開閉弁9)を備え、予備排気時にドライ窒素ガスを予備排気室1に導入して、試料Sの表面に窒素ガス分子を吸着させ、ドライ窒素ガスの分子膜を形成した後、試料Sを鏡筒20内の所定の試料位置にセットする。

請求項（抜粋）：

予備排気時に試料表面に、試料を電子線で照射したときに試料汚染を生じないガス分子を吸着させることを特徴とする分析電子顕微鏡における予備排気方法。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/18

FI (2件)：

H01J 37/20 G ,  H01J 37/18

Fターム (7件)：

5C001AA07 ,  5C001BB03 ,  5C001CC01 ,  5C001CC05 ,  5C001DD01 ,  5C033KK01 ,  5C033KK06