特許
J-GLOBAL ID：200903050432372467
ウエハのバーンイン装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-338568
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175297
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】ウエハの段階でバーンインを行うことよりパッケージング後では不可能な高い温度での高加速短時間バーンインスクリーニングを行う装置を提供する。【構成】真空又は不活性ガス雰囲気の容器1内にウエハ2を加熱するヒータ3を設け、パッドコンタクト用針を下面に取付けたカード4を上下動自在に設ける。パッドコンタクト用針5はパッドに接触し、電源・信号印加用ライン6からの入力をウエハ2に導入しバーンインを行う。
請求項（抜粋）：
真空又は不活性ガス雰囲気を形成する収納器内に、半導体ウエハを加熱するヒータを備え、収納したウエハにダイナミック動作又はスタティック動作を付与するパッドコンタクト用針つきカードを備えたことを特徴とするウエハのバーンイン装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 21/326
