特許

J-GLOBAL ID：200903050434567451

極薄ウエハの搬出方法およびそれに用いる多段式収納カセット

発明者： 関田 三郎
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-064292
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273867
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】厚みが20〜100μmの極薄ウエハの外周面にチッピングを生じることなく、かつ、パッドへの吸着ミスなく搬出できる多段式収納カセット及び極薄ウエハの搬出方法の提供。【解決手段】平板13上より極薄ウエハwの直径より僅かに大きい直径の半円弧状ガイド14を起立させた収納棚12の複数を、支柱15を介して等間隔で上下に平行に並べた多段式収納カセット10。搬送ロボットの吸着パッド21をウエハw上面に移動させ、ついで下降させてウエハを平板上に押圧することによりウエハの反りを無くしてから吸着パッド21にウエハを吸着固定する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

収納カセットの収納棚上に収納されている極薄ウエハを搬送ロボットア-ムに取り付けられた吸着パッドに吸引させて次の加工現場へ搬出する方法であって、 前記収納カセットの収納棚は平板上より極薄ウエハの直径より僅かに大きい直径の半円弧状ガイドを起立させた収納棚であり、極薄ウエハは前記半円弧状ガイドに外周を沿わせて収納されており、収納カセットの棚からの搬出は次ぎの工程を経て行われることを特徴とする極薄ウエハの搬出方法。 1)収納棚上の半円弧状ガイドに外周を沿わせて収納されている極薄ウエハの上面に、極薄ウエハの直径に略等しい直径を有する吸着パッドを移動させる。 2)減圧を解除した状態で吸着パッドを下降させて吸着パッドで極薄ウエハを前記平板に押圧し、極薄ウエハの反りをなくす。 3)吸着パッドを減圧して極薄ウエハを吸着固定する。 4)搬送ロボットア-ムを収納カセットより後退させ、ついで、吸着パッドに吸引された極薄ウエハを搬送ロボットで次の加工現場へ搬出する。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B23Q7/04 ,  B65D85/86 ,  B65G49/07

FI (5件)：

H01L21/68 B ,  H01L21/68 V ,  B23Q7/04 K ,  B65G49/07 G ,  B65D85/38 R

Fターム (34件)：

3C033BB04 ,  3C033HH01 ,  3C033HH27 ,  3C033MM02 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB04 ,  3E096CA06 ,  3E096CA08 ,  3E096DA23 ,  3E096EA02X ,  3E096FA01 ,  3E096GA01 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA09 ,  5F031EA06 ,  5F031EA18 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA24 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA04 ,  5F031JA22 ,  5F031JA40 ,  5F031KA02 ,  5F031MA22 ,  5F031MA24 ,  5F031MA38 ,  5F031PA13