特許
J-GLOBAL ID：200903050438620101
マイクロミラー素子パッケージおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-205020
公開番号（公開出願番号）：特開2007-034309
出願日： 2006年07月27日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】本発明はマイクロミラー素子パッケージをウエハサイズ単位の一括工程で製造することのできる方法を提供する。【解決手段】本発明のマイクロミラー素子パッケージは、マイクロミラー素子と、前記マイクロミラー素子をマウントする基板と、前記マイクロミラー素子を覆うよう前記基板上に設けられるウィンドウ蓋とを含む。前記ウィンドウ蓋は、光が透過される上部面の一部が斜めになっている。前記蓋は、前記素子にレーザビームの透過される光透過部が前記素子に対して傾斜し、前記光透過部から下方に支持部が延長されている。前記パッケージはレーザビームが入力されるとノイズビームと分離してスクリーンの画質を高めることができる。 それぞれのマイクロミラー素子に対応するウィンドウ蓋アレイを製造することにより、このようなマイクロミラー素子パッケージをウエハサイズ単位の一括工程により製造できる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
マイクロミラー素子と、
前記マイクロミラー素子をマウントする基板と、
前記マイクロミラー素子を覆うよう前記基板上に設けられるウィンドウ蓋とを含み、
前記ウィンドウ蓋は、前記素子にレーザビームの透過される光透過部が前記素子に対して傾斜し、前記光透過部から下方に支持部が延長されていることを特徴とするマイクロミラー素子パッケージ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
