特許
J-GLOBAL ID:200903050443633971

ベリファイ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-335810
公開番号(公開出願番号):特開2003-139720
出願日: 2001年10月31日
公開日(公表日): 2003年05月14日
要約:
【要約】【課題】欠陥部のあるピースを容易にかつ間違えることなく探してマーキングすることができる作業性を向上すること。【解決手段】プリント基板2の各ピース1毎に良否の判定結果を一括登録し表示する。
請求項(抜粋):
複数の検査部位を有する被検査体の欠陥検査データに基づいて欠陥部があるとされている前記検査部位の像を顕微鏡を用いて観察し、この観察結果から前記各検査部位の良否の判定を行なうベリファイ装置において、前記各検査部位ごとに良否の判定結果を登録操作する操作手段と、この操作手段により登録操作された前記各検査部位ごとの良否の判定結果を前記各検査部位の位置と対応させて記憶する判定結果記憶手段と、この判定結果記憶手段に記憶された前記各検査部位の良否の判定結果を一括して報知出力する報知手段と、を具備したことを特徴とするベリファイ装置。
IPC (2件):
G01N 21/956 ,  H05K 3/00
FI (2件):
G01N 21/956 B ,  H05K 3/00 V
Fターム (5件):
2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051DA15 ,  2G051EB01

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